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  亚博体育yabo88官方下载车间换气次数角度上来说:

  100000(10万)级,每小时换气18-25次,亚博体育yabo88官方下载时间不超过40分钟。

  10000(1万)级,每小时换气25-30次,亚博体育yabo88官方下载时间不超过30分钟。

  1000(1千)级,每小时换气40-60次,亚博体育yabo88官方下载时间不超过20分钟。

  亚博体育yabo88官方下载车间各种等级包括10万级亚博体育yabo88官方下载车间洁净度标准参考如下:

  亚博体育yabo88官方下载车间悬浮粒子浓度指标,来划分空气洁净度的等级,并且粒径限值(低限)在0.1um~5.0um 范围内,根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。

亚博体育yabo88官方下载车间每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。

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